使用温度 -5~40℃
*高使用圧 15MPa
是作为S-LABO使用来开发、设计的流量计。 在无尘车间进行清洗组装,维持气体的纯度性能优异。 阀门使用了氟系润滑油来保证气体纯度。 可选配实施氦气泄漏测试。(1.3×10-7Pa·m3/h以下)
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